潔凈度檢測-塵埃粒子測試 根據ISO 14644-1：2015潔凈室及相關受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

®潔凈度檢測-塵埃粒子測試儀器標準

光散射塵埃粒子計數器、光散射離散塵埃粒子計數器

儀器功能有：計數、測量單個塵埃粒子粒徑并以當量光學直徑報告粒徑數據

®分級 ：據標準來評估潔凈室或潔凈區(qū)潔凈度水平的方法。

®占用狀態(tài)

應在三種占用狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)，）的一種或更多情況下，根據潔凈室或潔凈區(qū)空氣里粒子濃度來劃分空氣潔凈度等級。

空態(tài)：潔凈室或潔凈區(qū)已完工，所有動力接通并運行，但無設備、設施、材料或人員在場。

靜態(tài)：潔凈室或潔凈區(qū)已完工，設備已經安裝好，并以約定方式運行，但沒有人員在場。

動態(tài) ：潔凈室或潔凈區(qū)以約定條件發(fā)揮作用，設備以規(guī)定方式運行，有規(guī)定數量的人員在場

®粒子粒徑

當一個或超過一個的粒徑閾值（下限）處于從≥0,1μm到≥5μm的范圍，可用來判定根據粒子濃度得出的空氣潔凈度分級。

備注：當設備安裝匹配完成，可用于持續(xù)或頻繁監(jiān)控空氣潔凈度（根據粒子濃度來分級）和其他性能參數，分級的時間間隔可以延長，監(jiān)控結果需保持在規(guī)定限度內。

®1測試

附錄A（標準）給出了相符性認證的基準測試方法，也可以規(guī)定其它至少有可比性的替代方法和/或儀器。如果沒有就替代方法作出規(guī)定或達成一致意見，則應使用基準方法。

執(zhí)行有關相符性認證的測試，應使用測試時符合校準要求的儀器。

®2塵埃粒子濃度評估

當根據附錄A完成測試后，對于被考慮粒徑的十進制中間等級，每個取樣點的單次取樣量的粒子濃度（以每立方米粒子數量來表示）不可超過表格1或表格E.1給出的濃度限值。如果在某個取樣點多次獲得單次取樣量，其平均其濃度且平均濃度不可超過表格1或表格E.1給出的濃度限值。中間粒子粒徑來源于公式E.1。

必須使用相同方法來測量所有被考慮粒徑的粒子濃度，以判定是否與ISO等級一致。

®ISO等級序數

根據粒子濃度劃分空氣潔凈度的級別應以ISO等級序數N來表示。表格1規(guī)定了每種被考慮粒徑的最大允許粒子濃度。

在表格1里，不同閾值粒徑的粒子數量濃度不能反應空氣里的實際粒子粒徑和數量分布，也不可作為分級的wei yi標準。分級計算舉例收錄在附錄B里。

GB/T 25915.1-2021 /ISO 14644-1：2015

潔凈室及相關受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

®3測試報告

各潔凈室或潔凈區(qū)的測試結果均應記錄，應以綜合報告形式提交，并說明是否符合有規(guī)定命名的空氣潔凈度等級（以粒子濃度劃分）。

測試報告應包含：

a)測試組織的名稱、地址和進行測試的日期；

b)ISO 14644本部分的出版編號和年代，例如ISO 14644-1:2015；

c)明確標明被測潔凈室或潔凈區(qū)的實際位置（必要時包括臨近的參照區(qū)）及所有取樣點坐標的具體標注（以圖表方式表達或有幫助）；

d)潔凈室或潔凈區(qū)的規(guī)定命名準則，包括ISO等級序數、相關的占用狀態(tài)和被考慮粒徑；

e)所使用測試方法的詳細說明，包括與測試有關的或偏離測試方法的特殊條件，測試儀器銘牌及其目前的校準證書；

f)測試結果，包含所有取樣點的粒子濃度數據。

如果大粒子濃度已按附錄C里的說明進行了量化，相關信息應包含在測試報告中。

ISO14644.2-2015根據粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

附錄A根據粒子濃度對空氣潔凈度進行分級的基準方法

®原則 ：在zhi定取樣點，離散粒子計數器可用于判定大于或等于規(guī)定粒徑的塵埃粒子濃度。

®儀器要求：粒子計數器：

該儀器具有顯示或記錄空氣里離散粒子的總數和粒徑的能力以及粒徑鑒別能力，可檢測到被考慮級別之適當粒徑范圍內的總粒子濃度。

備注：光散射（離散）塵埃粒子計數器（LSAPC）常常用來劃分空氣潔凈度等級。

®儀器校準

粒子計數器應有有效的校準證：校準的頻率和方法應按ISO 21501-4所述的現行認可規(guī)定來執(zhí)行。

備注：針對ISO 21501-4里要求的所有測試，有些粒子計數器不能校正。如果是這種情況，在測試報告里記錄下使用該計數器的決定。

®粒子計數測試的準備工作

按照性能指標，測試前應確認潔凈室或潔凈區(qū)的所有相關方面作為一個整體，是完整的、功能正常的。

當執(zhí)行潔凈室性能的配套測試時，應當注意順序的選擇。ISO 14644-3之附錄A提供了一份檢查清單。

®確定取樣點

取樣點數量的來源

取樣點的最小數量NL來源于表格A.1。表格A.1提供了待分級的各潔凈室或潔凈區(qū)的取樣點數量，并且規(guī)定了至少95%置信度的情況下，至少90%的潔凈室或潔凈區(qū)不會超過等級限值。

表格1 – 有關潔凈室區(qū)域的取樣點

®取樣點的定位

為了定位取樣點：

使用表格A.1里的取樣點最小數量NL；

然后將整個潔凈室或潔凈區(qū)劃分為NL個等面積區(qū)塊；

每個區(qū)塊都選定一個可代表該區(qū)塊特征的取樣點；

在每個取樣點，將粒子計數器采樣探頭置于工作活動的平面或另一個zhi定點。

對于被視作關鍵點的地方，可以選定額外的取樣點。他們的數量和位置也應經用戶和供應商協(xié)商并具體化。

可以將額外區(qū)塊和相關取樣點細分成等面積區(qū)塊。

對于存在非單向氣流的潔凈室或潔凈區(qū)，如果他們直接位于非擴散空氣供應源之下，取樣點將不具有代表性。

大面積潔凈室或潔凈區(qū)的取樣點

當潔凈室或潔凈區(qū)的面積大于1,000m2的時候，使用公式(A.1)來判定要求的取樣點最小數量：

NL=27×

其中：NL代表待評估的取樣點最小數量，上舍入鄰近整數；

A代表潔凈室的面積（m2）。

®5確定各取樣點的單次取樣量和取樣時間

如果最大被選擇粒徑的粒子濃度達到zhi定ISO等級限值，需在各取樣點采集足夠的空氣量，保證能檢測出至少20個粒子。

Vs代表取樣點的單次取樣量，可由公式(A.2)確定：

Vs={20/ Cn.m}×1000

其中：Vs代表取樣點的單次zui低取樣量，用升表示(附錄D的情況除外)；

Cn,m代表相關等級規(guī)定的最大被考慮粒徑之等級限值（每立方米的粒子數量）；

20代表當粒子濃度處于該等級限值時，可被檢測到的粒子數。

每個取樣點的取樣量至少為2升，取樣時間最少為1分鐘。各取樣點的單次取樣量應相同。

Vs值很大時，可能需要大量的取樣時間。利用可供選擇的順序采樣法（見附錄D），既可減少要求的取樣量，又可減少取樣需要的時間。

取樣程序A.5.1

按照廠家說明書（包括自凈時間檢查），設置粒子計數器（見A.2）

設置采樣量計算采樣周期/時間

Vs={20/ Cn.m}×1000

5.2采樣探頭的位置應插入空氣流。若被取樣的氣流方向是不受控的或不可預計的（例如非單向流），采樣探頭的入口應垂直指向上方。

5.3確保在取樣前建立一個處于正常情況下的被選擇的占用狀態(tài)。

5.4每個取樣點，每份樣品按A.4.4確定的最小空氣量取樣。

A.5.5如果在一個取樣點因某種可辨認的異常情況導致計數超標，可以舍棄該次計數并在測試報告上作出相應記錄，并且重新取樣。

A.5.6如果一個取樣點的計數超標的原因是潔凈室或設備的技術故障，應分析原因并采取矯正措施， 在該取樣失敗的點、周圍緊鄰的點和其他所有受影響的點安排重新測試。

結果處理

結果記錄

當每個被考慮粒徑的每次取樣量與空氣潔凈度的相關ISO等級匹配時，每次樣品測量結果將記錄粒子數量。

`xi ={（xi.1+ xi.2+….. xi.n）/n}

備注：對于粒子計數模式為濃度計算的，人工評估是沒有必要的。

各取樣點的平均粒子濃度

當一個取樣點發(fā)生兩次或多次取樣，根據公式，以單份樣品粒子濃度的每個被考慮粒徑來

Ci={(`xi×1000)/ Vt}

其中：Ci代表每立方米的粒子濃度；

`xi代表在取樣點i的平均粒子數，i可代表任何取樣點；

Vt代表被選擇的單次取樣量（升）。

結果的解釋說明

分級要求

如果各取樣點測量的平均粒子濃度（每立方米的粒子數）不超過表格1里規(guī)定的濃度限值， 潔凈室或潔凈區(qū)被視為已達到規(guī)定的空氣潔凈度分級要求。

如果涉及到附錄E里規(guī)定的中間等級或粒徑，可使用表格(E.1)或公式E.1里的適當限值。

超標結果

如發(fā)生計數超標，應安排調查。調查結果和矯正措施應在測試報告